鍍膜過程監(jiān)控

在鍍膜過程中需要對(duì)一些重要參數(shù)進(jìn)行監(jiān)控，如膜層厚度、成分、表面光潔度、光透射率、反射系數(shù)、偏振特性等，都可以利用光譜學(xué)和雙光束干涉的方法進(jìn)行測量。光纖的使用為監(jiān)控過程提供了靈活的工具，可以使光方便地進(jìn)入或?qū)С鲞h(yuǎn)方的真空超凈室，而且可以同時(shí)為膜層分析提供多個(gè)幾何量的測量選擇。膜層的照明和發(fā)光的探測可以在相對(duì)于膜層的不同光纖位置進(jìn)行，可以測量鏡面反射、漫反射、傳輸、偏振、干涉、熒光和拉曼散射等。可以利用多根光纖同時(shí)監(jiān)測多個(gè)參數(shù)，或者在不同的空間位置或掩模條件下同時(shí)測量。

用幾個(gè)適宜結(jié)構(gòu)的光纖探頭，就可以在線監(jiān)測生產(chǎn)的全過程。在一些場合中，可以通過監(jiān)測離子源（如等離子源）的光譜輻射來確定鍍膜過程中的條件效率。

對(duì)于大多數(shù)此類監(jiān)測系統(tǒng)來說都需要專門的實(shí)驗(yàn)布局，我們可以為您提供適合您應(yīng)用的實(shí)驗(yàn)布局，這里僅舉一個(gè)應(yīng)用系統(tǒng)的例子。在這里使用一個(gè)反射型光纖探頭來在線監(jiān)測鍍膜生產(chǎn)過程。光纖通過過真空裝置進(jìn)入真空室，然后傳到反射探頭上。反射光經(jīng)過另一個(gè)過真空裝置，進(jìn)入光譜儀的一個(gè)測量通道。反射型探頭可以用SMA接頭拆下。還可以再增加一個(gè)光譜儀通道，用來進(jìn)行參考測量或補(bǔ)償光源本身的波動(dòng)對(duì)測量結(jié)果的影響。