薄膜厚度測(cè)量
薄膜測(cè)量系統(tǒng)是專(zhuān)門(mén)針對(duì)半導(dǎo)體、材料、生物醫(yī)學(xué)薄膜的實(shí)驗(yàn)室分析及在線(xiàn)監(jiān)測(cè)開(kāi)發(fā)的，用于測(cè)量薄膜反射率及膜層厚度的綜合測(cè)量系統(tǒng)。該系統(tǒng)基于白光反射及干涉的原理來(lái)確定光學(xué)薄膜的厚度?？梢酝ㄟ^(guò)對(duì)白光干涉圖樣進(jìn)行數(shù)學(xué)運(yùn)算來(lái)計(jì)算出薄膜厚度。對(duì)于單層膜來(lái)說(shuō)，如果已知薄膜的n和k值就可以計(jì)算出它的物理厚度。
AvaSoft-Thinfilm軟件內(nèi)有一個(gè)包含大部分常用材料和膜層的n值和k值的數(shù)據(jù)庫(kù)。TFProbe多層膜測(cè)量軟件可以測(cè)量多達(dá)5層膜的厚度和光學(xué)常數(shù)（n、k值），實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)或在線(xiàn)膜厚和折射率監(jiān)控。
參數(shù)指標(biāo)：
光譜范圍 200~1100nm 測(cè)量速度 2 ms minimum
膜厚范圍 10nm~200μm基底厚度up to 50mm thick
分辨率 1nm 測(cè)量精度 better than 0.25
典型應(yīng)用領(lǐng)域：
Semiconductor fabrication (PR, Oxide, Nitride..) 半導(dǎo)體制造
Liquid crystal display (ITO, PR, Cell gap…..) 液晶顯示器
Forensics, Biological films and materials 醫(yī)學(xué)、生物薄膜或材料
Inks, Mineralogy, Pigments, Toners 印刷油墨，礦物學(xué)，顏料，碳粉
Pharmaceuticals, Medial Devices 制藥
Optical coatings, TiO2, SiO2, Ta2O5….. 光學(xué)薄膜
Semiconductor compounds 半導(dǎo)體化合物
Functional films in MEMS/MOEMS 功能薄膜材料
Amorphous, nano and crystalline Si 非晶硅
AvaSoft-Thinfilm應(yīng)用系統(tǒng)可以搭配多種應(yīng)用系統(tǒng)附件，例如光纖多路復(fù)用器、顯微鏡、過(guò)真空裝置等附件，實(shí)現(xiàn)多點(diǎn)位同時(shí)測(cè)量、微區(qū)測(cè)量、過(guò)程監(jiān)控等復(fù)雜領(lǐng)域的應(yīng)用。 例如：AvaSoft-Thinfilm應(yīng)用系統(tǒng)能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)控膜層厚度，并且可以與其他AvaSoft應(yīng)用軟件如XLS輸出到Excel軟件和過(guò)程監(jiān)控軟件一起使用。
